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日本CANON ANELVA真空计M-351PG-SP
分类：
行业新闻
2020/06/30 10:29
【摘要】：
日本CANON ANELVA真空计M-351PG-SP
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产品品牌：日本CANON
产品名称：真空计、离子规
更多日本进口产品的详细信息请联系手机:189 0158 9530韩先生
具体规格型号如下所示：
M-351PG-SP
特長：
耐食性の向上
Niフィラメント採用等
再現性がよく低価格
5×10-2Paから大気圧
用途：
半導体、電子デバイス製造装置
ドライエッチング装置、プラズマCVD装置、LD-CVD装置など
食品99医薬品製造装置
真空凍結乾燥、真空蒸留装置、滅菌装置など
规格尺寸：
型 名 M-351PG-SP
（Ｎｉフィラメント仕様）（セットポイント付タイプ）
測定圧力範囲 5×10-2～1×105（Pa）
精度（Pa） ±50％：5×10-2 ～ 1×10-1
±15％：1×10-1 ～ 1×104
±50％：1×104 ～ 1×105
再現性 ±2％ ： 1×10-1 ～ 1×104Pa
入力電圧 DC+14～30V
消費電力 2W
アナログ出力 0～10V
ゲージ認識抵抗値 13KΩ（D-sub5-9番ピン間）
セットポイント 2接点出力（1A30V,DC）
インターフェース －
入出力コネクタ D‐sub9ピン
最大ケーブル長 200ｍ（0.34mm2）対応可能＊1
使用温度範囲 5～60℃
保存温度範囲 -20～70℃（非動作時）
ベーキング温度 ＜＋150℃（Oリング仕様、ゲージヘッドのみ）
＜＋300℃（メタルシール仕様、ゲージヘッドのみ）
許容過負荷圧力 1MPa（継手形状NPTに限る、不活性ガスに限る、絶対圧）
適合ピラニセンサ型名 MP-2
フランジ形状 NW16、NW25、1/8NPT
センサー材質（主要部） ピラニフィラメント：ニッケル
センサーチューブ：ステンレス
導入端子絶縁部：コバールガラス＋Al2O3コート
保護規格 IP40
RoHS, CEマーキング 対応
日本CANON真空计BRG-1B
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