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日本CANON ANELVA真空计M-431HG
分类：
行业新闻
2020/06/30 10:31
【摘要】：
日本CANON ANELVA真空计M-431HG
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产品品牌：日本CANON
产品名称：真空计、离子规
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具体规格型号如下所示：
特長:
ワイドな圧力測定範囲
10-7Pa～10Paまで、超高真空側の特性を犠牲にすることになく、スパッタプロセスを超える低真空領域まで測定可能
高応答アナログ出力
圧力値のアナログ信号出力は、100msec以内と高い応答性を確保し、プロセス圧力コントロールにも使用可能
4つのエミッション電流設定モード
高圧力領域側での使用時のフィラメント寿命改善など、用途に合わせ選択が可能
特長:
CEマーキング対応
外部入出力、RS-232C通信機能を標準装備
入力電圧はワイド電圧（M-431HG）
低消費電力/DC 24V入力
用途:
自動化真空装置の圧力測定
スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御
マルチチャンバシステムでの圧力測定
一般真空装置の圧力測定
规格尺寸：
型 名 M-431HG
圧力表示範囲 0.01×10-7～13.2×100Pa
圧力表示 デジタル、測定レンジ自動切換
セットポイント 2点標準装備（ヒステリシス付き）
D/A出力 LOGまたは複合出力切換（0～10V）
アナログ出力 0～10V（APC対応出力）
INPUT フィラメントON/OFF、パラメータLOCK、
外部制御機能 フィラメント切換、デガスON/OFF、レンジホールド
（リモート操作） OUTPUT セットポイント1,2、フィラメントON/OFFステータス
デガスステータス、フィラメント1/2ステータス
通信機能 RS232C標準搭載（9600、4800、2400、1200bps）
外形寸法（mm）/質量 104W X 99H X 296D 1.2Kg
消費電力 50VA AC90～240V 50/60Hz
エミッション電流 10μA、100μA、1mA（自動切換えまたは固定）
ガス出し グリッド通電加熱方式、通電タイマー3分
フィラメント切替 キー及びリモートI/O操作
フィラメント保護 13.3×100PaにてフィラメントOFF
標準構成 真空計本体（測定球及び、ケーブルは構成品に含まれません）
RoHS，CEマーキング 対応